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書名 矽晶圓半導體材料技術 
作者 林明獻編著 
出版機構 全華圖書 
出版版次 五版 
圖書類號 448.65 
主題標題 半導體; 工程材料 
適讀對象   
關鍵字詞   

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ISBN(裝訂方式) 頁數 頁寬 定價 出版年月 是否到館 延伸查詢
 9789865032425 (精裝) 576 26 NT$650 108/10 延伸查詢

顯示內容簡介

1.本書為國內第一本介紹矽晶圓材料的專業參考書籍。
2.本書詳細介紹矽晶的基本性質,矽晶圓材料的製造流程、矽晶圓缺陷控制以及矽晶圓性質檢測等單元,是一本從事半導體領域之學術研究與工程人員必備的專業書籍。

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